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單位

RS100

RS160

RS250

RS440

RS650

RS980

抽氣速率Pump speed（50/60HZ）

L/Min

1666

2666

4166

7333

10833

16333

m3/h

100

160

250

440

650

980

極限壓力 Ultimaate Pressure

Torr

7.5*10-3

mbar

1*10-2

Pa

1

管路連接 Connnection

入氣口  Inlet

KF40

KF50

KF50

ISO63

ISO63

DN100

出氣口  Outlet

NW25

NW40

KF50

KF50

KF50

DN65

*低流量 Min.Flow

L/Min

3

5

**壓力 Max.Pressure

kg/cm3

4

壓力差 Pressure Dif.

kg/cm3

1

溫度 Temp.

℃

10-40

接頭

Pt 3/8''