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RSV系列半導(dǎo)體

RSV系列半導(dǎo)體

直接聯(lián)系

蘇州銳昇聚創(chuàng)科技有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

銳昇聚創(chuàng)

型號(hào)：

RSV系列半導(dǎo)體

關(guān)注度：

418

產(chǎn)品介紹

RSV系列

專為半導(dǎo)體中等，嚴(yán)苛制程使用 抽氣速率：75-3000m3/h

采用一體型螺桿式設(shè)計(jì)，獨(dú)特的軸承設(shè)計(jì)，極寬泛的溫 度控制范圍50-125攝氏度，可采用特殊高鎳材質(zhì)。

適應(yīng)于大量粉塵，高腐蝕的半導(dǎo)體工藝制程

項(xiàng) 目                 機(jī)型

單位

RSV100

RSV200

RSV700

RSV1200

RSV1800

RSV3000

抽氣速率

Pumpspeed50/60)

L/min

1666

3333

11666

20000

30000

50000


M3/H

100

200

700

1200

1800

3000

極限壓力

UItimoate Pressure

Torr

75×103

Z5×10?


mbar

1×10~2

1×103


Pa

1

1×10-

馬達(dá)  Motor

顏定功率

Rated power

KW

4

5.5

6.2

8

8

15


底壓功率

Uitimate Pressure Power

KW

2.5

3

3.2

3.5

4

11

管路連接  Connection

入氣口 Inlet


KF50

KF50

ISO100

SO100

ISO160

ISO200


出智


KF40

KF40

KF40

KF40

KF50

KF50

 

冷卻水

Cooing water

*   低

L/MIN

3

5


**壓力

MaxPressure

kg/cm3

4


等rer

kg/cm3

1


濕度  Temp

℃

10-40


ection


PT 3/8


氮?dú)?/span>

( 選 配 )

N2

eure

Mpa

0.05-0.2


流量 How

slm

6-10(Sealing gas) 0-50(Dilute)注


necten


Swagelok  1/4”

尺寸Dim

芒×案×高

mm

940×400×503

1192×444×650

900×400×744

1050×444×86

090×444×895

1150×460×560

重量Weight

kg

270

330

380

555

730

710



產(chǎn)品咨詢

RSV系列半導(dǎo)體

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RSV系列半導(dǎo)體 - 418
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