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抽氣速率

Pumpspeed50/60)

L/min

1666

3333

11666

20000

30000

50000

M3/H

100

200

700

1200

1800

3000

極限壓力

UItimoate Pressure

Torr

75×103

Z5×10?

mbar

1×10~2

1×103

Pa

1

1×10-

馬達  Motor

顏定功率

Rated power

KW

4

5.5

6.2

8

8

15

底壓功率

Uitimate Pressure Power

KW

2.5

3

3.2

3.5

4

11

管路連接  Connection

入氣口 Inlet

KF50

KF50

ISO100

SO100

ISO160

ISO200

出智

KF40

KF40

KF40

KF40

KF50

KF50

冷卻水

Cooing water

*   低

L/MIN

3

5

**壓力

MaxPressure

kg/cm3

4

等rer

kg/cm3

1

濕度  Temp

℃

10-40

ection

PT 3/8

氮氣

( 選 配 )

N2

eure

Mpa

0.05-0.2

流量 How

slm

6-10(Sealing gas) 0-50(Dilute)注

necten

Swagelok  1/4”

尺寸Dim

芒×案×高

mm

940×400×503

1192×444×650

900×400×744

1050×444×86

090×444×895

1150×460×560

重量Weight

kg

270

330

380

555

730

710