粉體行業在線展覽
粉體行業在線展覽
半導體級MPCVD設備
直接聯系
西安德盟特半導體科技有限公司
陜西
面議
德盟特
半導體級MPCVD設備
838
| 常規配置及參數 | |
|---|---|
| 電源輸入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
| 微波電源功率: | 6KW（2.45GHz） |
| 樣品臺: | 8英寸水冷銅臺 |
| 腔體生長壓力: | 10-200Torr |
| 氣體管路: | 標配4路（H2、O2、CH4、N2） |
| 反應腔體: | 臥式蝶形上翻蓋金屬水冷腔體 （帶4個觀察窗） |
| 主機柜尺寸: | 900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H) （約320Kg） |
| 控制柜尺寸: | 570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) （約240Kg） |
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
自動劃片機
BTF-1200C-RTP-CVD
Gasboard-2060
Pentagon Qlll
等離子化學氣相沉積系統-PECVD
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統-詳情15345079037
HSE系列等離子刻蝕機
