粉體行業(yè)在線展覽
DH5S—MPCVD半導體級MPCVD設備
面議
德盟特
DH5S—MPCVD半導體級MPCVD設備
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常規(guī)配置及參數(shù) | |
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電源輸入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
微波電源功率: | 6KW(2.45GHz) |
樣品臺: | 2英寸可升降水冷臺 |
腔體生長壓力: | 10-200Torr |
XRD-晶向定位
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