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儀器簡介：

應用：

◆半導體及相關領域。

技術參數：

E-Square公司致力于提供專業的電漿（Plasma）清洗解決方案，公司生產的常壓電漿清洗設備以其專業可靠的品質贏得了市場的一致認可。

主要特點：

◆無塵；

◆低溫處理(基板上升溫度:常溫~5℃)；

◆無傷害(與UV燈處理相同程度) ，已申請專利；

◆無靜電放電(處理后的ESD值為0~50V以內，由于正、負離子的產生，故處理前不需要負離子空氣凈化器裝置)；

◆2年內免維修(2年一次的點檢作業)；

◆小型、重量輕；

◆裝置稼動率99.5%以上；

◆反應裝置的部分幾乎可**使用。