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Heron系列全自動(dòng)化等離子表面處理系統(tǒng)應(yīng)用于小型生產(chǎn)以及研發(fā)實(shí)驗(yàn)室使用。Heron 80是一款獨(dú)立式等離子系統(tǒng)，專為表面清潔，改性，活化和蝕刻而設(shè)計(jì)。它可以在不同的材料上運(yùn)行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。用戶友好的圖形界面與高效的射頻系統(tǒng)相結(jié)合，使Heron 80成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡(jiǎn)單通用解決方案。

系統(tǒng)的技術(shù)描述

Heron 80是一款大尺寸獨(dú)立等離子系統(tǒng)，專為表面清潔，改裝和激活而設(shè)計(jì)。它可以在不同的材料上運(yùn)行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。下面描述的特性使Heron 80成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡(jiǎn)單通用解決方案。

主機(jī)由不銹鋼制成，帶有可拆卸的后面板和側(cè)面板，便于維護(hù)或故障排除。外部裝飾是“輕刷”。它也可以安裝在帶有“穿墻”配置的潔凈室中。

Heron 80的控制系統(tǒng)基于配備觸摸屏HMI操作面板的先進(jìn)PLC。由于用戶友好的圖形界面，可以直接操作系統(tǒng)組件或讓PLC根據(jù)用戶可編輯的配方執(zhí)行過程。PLC具有快速掃描時(shí)間，可連續(xù)測(cè)量所有系統(tǒng)參數(shù)，以確保均勻可靠的過程。無法避免的手動(dòng)處理是裝載/卸載樣品的步驟。

Heron 80是等離子體反應(yīng)器[1]電容耦合并且包括圓柱形處理室，其內(nèi)部具有幾個(gè)同心籠電極。

他的處理室由鋁制成。由于表面上形成了天然的氧化鋁，鋁可以在許多工藝氣體（包括氟化蝕刻氣體）的存在下使用，這一特性使這些反應(yīng)器適用于大多數(shù)反應(yīng)等離子體環(huán)境（即蝕刻，灰化...）。沒有焊接可確保更好的密封，從而防止過程中的外部污染

產(chǎn)品特點(diǎn)

?成本低

?觸摸屏顯示提供實(shí)時(shí)的所有主要信息，出色的過程控制和快速分析

?能夠處理多達(dá)十種不同的可編輯配方

?一致結(jié)果的一致性

?數(shù)據(jù)記錄功能，頻率<0.5 Hz，用于過程的歷史條件

?出色的過程控制和長(zhǎng)期可靠性和穩(wěn)定性

?使用的主要品牌組件，如真空計(jì)和質(zhì)量流量控制器（MKS儀器）

?射頻功率可在1W至600W范圍內(nèi)調(diào)節(jié)

技術(shù)規(guī)格

尺寸 寬 x 長(zhǎng) x 高 700 x 600 x 1750 mm

凈重 130 Kg （不含真空泵）

凈空 右，左，前 - 600mm，后 - 254mm