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KLA臺階儀D500

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Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 創新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量,與材料特性無關。 可調節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力,可以對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結構的任何變化。

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