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高壓強熱電離皮拉尼真空計

INFICON 公司生產的HPG 400 型高壓強熱電離皮拉尼真空計

將高壓強熱電離與皮拉尼規管綜合在一個小型、輕便與經濟

的規管中，測量壓強從 2×10-6 至1000 毫巴(1.5×10-6 至

750 乇)。HPG 400 提供高度的重復性和再現性壓強測量，

用于精確的濺射過程的壓強控制。

用戶優越性

􀂠 HPG 400 節省成本和設備空間，降低真空測量的安裝與

設置的復雜性

􀂠 高壓強熱電離真空計從 1×10-5 至1 毫巴為要求高的過程

控制提供精確、可靠的壓強測量

􀂠 用戶可選的熱電離發射在 5×10-2 至1 毫巴之間起始工作

􀂠 皮拉尼聯鎖保護熱陰極防止它過早燒毀

􀂠 高真空皮拉尼自動調整，減少操作人員的干預

􀂠 備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

典型應用

􀂠 半導體制造中濺射工藝應用，電子學的媒體工業

􀂠 工業鍍膜

􀂠 在低至超高真空范圍中系統的一般真空測量和控制