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光學(xué)三維表面形貌儀

儀器簡介：

提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計(jì)算、曲率計(jì)算、模擬一維分析、數(shù)據(jù)輸出、數(shù)據(jù)自動動態(tài)存儲、自定義數(shù)據(jù)顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數(shù)據(jù)。表面統(tǒng)計(jì)的計(jì)算包括峰值和谷值分析。基于傅立葉變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。用于階越高度測量的地區(qū)差異繪圖。

主要特點(diǎn)：

◆微觀二維（2D）和三維(3D)形貌輪廓獲取

◆多種測量功能

將采樣數(shù)據(jù)運(yùn)算后，可獲得精確定量的面積（空隙率，缺陷密度，磨損輪廓截面積等）、體積（孔深，點(diǎn)蝕，圖案化表面，材料表面磨損體積以及球狀和環(huán)狀工件表面磨損體積等）、臺階高度、線與面粗糙度，透明膜厚、薄膜曲率半徑以及其它幾何參數(shù)等測量數(shù)據(jù)。

NanoMap 光學(xué)輪廓儀在0.1nm 到 10mm 的垂直掃描范圍內(nèi)提供了非接觸式高速高精度三維表面測量工能，縱向分辨率可達(dá)0.01nm。具有**的自動化水平，友好的用戶界面，以及業(yè)內(nèi)**的SPIP分析軟件系統(tǒng)。眾多先進(jìn)技術(shù)的集成、經(jīng)過長期實(shí)用驗(yàn)證的測量技術(shù)核心以及適合于各種專業(yè)應(yīng)用需要的軟件功能，使 NanoMap 成為世界上***的光學(xué)干涉測量設(shè)備，可滿足MEMS、金屬研究、材料科學(xué)、半導(dǎo)體、醫(yī)用器械等眾多領(lǐng)域科研和生產(chǎn)工作中對高精度自動化表面測量的需要。

特點(diǎn)：

能夠同時(shí)測量形貌和粗糙度

能夠測量小半徑和小角度

標(biāo)準(zhǔn)真實(shí)的顏色信息

提供360°的形狀和粗糙度測量

檢測具有不同表面表征的表面

測量性能：

表面形貌測量

粗糙度測量

表面波紋度、輪廓度測量

體積測量與分析

二維圖像-截面曲線測量

部分技術(shù)參數(shù)：

垂直分辨率：0.1nm

水平光學(xué)分辨率：3300nm

**掃描高度：mm

**掃描面積：mm²

應(yīng)用

汽車工業(yè)

工具和刀具

造紙與印刷

刑事偵察

摩擦與腐蝕

醫(yī)療器械

微電子工業(yè)