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明場光學(xué)缺陷檢測設(shè)備——BriteSD 300

BriteSD系列是睿勵科學(xué)儀器(上海)有限公司在2023年**推出的明場光學(xué)圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備。

該系列適用于集成電路制造、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域的缺陷檢測，

可檢測缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等，具備晶圓全表面檢測、

自動缺陷分類以及高分辨率的缺陷復(fù)查功能，運(yùn)用睿勵自主開發(fā)的先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)和多種獨(dú)特的算法

，可以應(yīng)用于檢測更小的缺陷。

主要特點(diǎn)：

l 支持8/12吋wafer

l 明場檢測

l 支持硅片、SiC片檢測

l 支持Auto Review 功能

l 可多組倍鏡切換:1X、2X、5X、20X、50X