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WSD系列產品是睿勵科學儀器(上海)有限公司自主研發、生產的全自動晶圓外觀缺陷檢測設備。

設備的基本檢測原理是利用光學系統成像、通過圖像分析的方式來捕抓并分類各種晶圓表面的缺陷。

該系列產品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型號產品，

適用于集成電路制造、化合物半導體等領域。

主要特點：

l 支持6/8/12吋wafer

l 可定制化兼容Frame產品

l 支持透明/非透明襯底片檢測

l 可檢測缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等

l 具備晶圓全表面檢測、自動缺陷檢測分類以及高分辨率的缺陷復查功能