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美國(guó)SVT原子氫源/氫原子源

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美國(guó)SVTA公司中國(guó)辦事處

美國(guó)

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產(chǎn)品介紹

原子氫源采用電子束加熱原理，產(chǎn)生的溫度可高達(dá)2，500^oC。氫氣進(jìn)入原子氫源，然后被裂解成原子H。由于其不會(huì)產(chǎn)生離子形態(tài)的氫，所以消除了損傷襯底表面的可能性，因此是用于襯底表面清潔的**工具。

緊湊SVTA-H1-1的接口是2.75’’（70mm）CF法蘭。另外還可以配轉(zhuǎn)換法蘭，使其適用于任何MBE設(shè)備。建議電源使用SVTA-H1-PS。此電源系統(tǒng)包括3個(gè)獨(dú)立電源：高壓電源用于提供偏壓；高電流電源用于燈絲加熱；控制器連接其他電源，用于控制輸出發(fā)射電流，此外，此電源還可以為測(cè)量和顯示束流供電。

電源	300W
發(fā)射電流	100mA
溫度	2，873K
燈絲電流	15A
管材料	W， Mo
電接插件	燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲高壓：SHV
法蘭	2.75’’(70mm) 4.50’’(114mm)CF
真空室內(nèi)長(zhǎng)度	12’’ (或客戶定制)
可選	水冷卻罩

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