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美國SVT公司MBE束流源/蒸發源

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1033

產品介紹

SVT HL 系列在坩堝端口有更高的溫度。在坩堝口提高溫度,以避免材料在蒸發過程中由于坩堝口溫度低而凝固。配有單電源、溫度控制器和電纜。

SVT CL 系列用于生長鋁材料。采用冷口設計阻止鋁向坩堝口外蔓延而毀壞源。源接口可以是2.75’’法蘭或更大。

SVT HT 系列蒸發源用于沉積低蒸汽壓材料。源的溫度可達2,000 oC。源接口可以是2.75’’法蘭或更大。源在運往客戶前都經過全面檢測和標征。對于4.5’’或更大接口的源,水冷卻罩和集成擋板可選。

SVT也提供可用于UHV氨環境下的冷口源。此源在坩堝口帶有冷卻水。源接口可以是2.75’’法蘭或更大。

對于4.5’’或更大接口的源,水冷卻罩和集成擋板可選。

型 號

法蘭尺寸

坩堝容量(CC)

SVTA-SF-16-275

2.75’’

16

SVTA-SF-16-450

4.5’’

16

SVTA-SF-20-275

2.75’’

20

SVTA-SF-20-450

4.5’’

20

SVTA-SF-22-275

2.75’’

22

SVTA-SF-22-450

4.5’’

22

SVTA-SF-40-275

2.75’’

40

SVTA-SF-40-450

4.5’’

40

SVTA-SF-60-450

4.5’’

60

SVTA-SF-80-450

4.5’’

80

溫度范圍

0 oC-1,400 oC

功率

600W或1KW

溫度穩定性

+/-0.1oC

溫度重復性

+/-0.1oC

熱偶

C型(D型可選)

坩堝容量

*16cc,20cc,22cc,40cc,

50cc,60cc,85cc,

(16cc,22cc錐形壁坩堝均一性更高)

標準長度

*12’’(762.5px)

法蘭接口

2.75’’或4.5’’OD-CF

電接插件

燈絲:Amphenol環形燈絲

T/C:Omega亞微型

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