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MDPinline ingot晶錠在線面掃檢測儀

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弗萊貝格儀器（上海）有限公司

德國

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產品介紹

MDPinline ingot系統是世界上*快的多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命，光電導率，電阻率)都是同時測量的。

該系統包括一個數據庫和統計數據評估，可用于自動確定精確的切割位置，以提高成品率。用于材料質量監控，爐選擇和工藝改進。

無接觸破壞的半導體特性

少數載流子壽命的檢測能力

先進的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化

自動切割標準定義

獲取體材料性質的穩態測量

完全自動化的內聯集成

對太陽能級硅錠進行掃描，1mm分辨率

測量時間:1分鐘內完成晶錠的面掃描，可自動測量所有4個面

Automated determination of cut off criteria

先進光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。
在1分鐘內完成分辨率大于1mm成像掃描測試，同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的
線掃描測試。客戶定義的切割標準可以傳輸到晶圓廠數據庫，該數據庫允許對下一代光伏晶圓廠進行完全自動化的材料監控。
對爐料進行質量控制和爐況監測，并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術大大減少了表面重組造成的數據失真。
Recognition of cracks， chunks etc. Automated cut criteria definition， lifetime map

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