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膜厚測(cè)試儀

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美國(guó) Filmetrics

美國(guó)Filmetrics公司出品的F20 膜厚測(cè)量?jī)x，可快速簡(jiǎn)便的測(cè)量透光薄膜的光學(xué)參數(shù)(n，k值)，可在幾秒內(nèi)測(cè)量并分析薄膜的表層和底層的反射光譜得到膜厚，折射率參數(shù)。

軟件以及USB接口可輕易的將儀器與Window系統(tǒng)的電腦連接。軟件的數(shù)據(jù)庫(kù)預(yù)存100種以上材料的基本信息，利用這些已存信息可以測(cè)量多層結(jié)構(gòu)，用戶還可以通過(guò)擬合測(cè)量將新材料的光學(xué)系數(shù)存入系統(tǒng)以備今后應(yīng)用。

測(cè)量條件：

薄膜：平整，半透明，吸光薄膜。例如：SiO2 SiNX DLC、光刻膠、多晶硅無(wú)定形硅，硅片；

基底層：平整，反射基底。如需測(cè)量光學(xué)系數(shù)，則需要平整鏡面反射基底，如果基片是透光的，基片背面需要做反光處理。可用基底例如：硅片玻璃鋁、GaAs 鋼聚碳酸脂、聚合物薄膜

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