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量產級多功能薄膜沉積設備

直接聯(lián)系

合肥致真精密設備有限公司

安徽

產品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

致真精密

型號：

量產級多功能薄膜沉積設備

關注度：

905

產品介紹

該設備基于晶圓真空傳輸平臺VTM，可以靈活配備傳輸腔室和工藝腔室，工藝腔室可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、濺射腔室、熱蒸發(fā)腔室和預清洗腔室等。可實現多種材料的精確沉積。

性能參數

晶圓尺寸	8~12吋
極限真空	優(yōu)于5×10-9mbar（工藝室PM）優(yōu)于5×10-7mbar（傳輸室TM）優(yōu)于5×10-6mbar（進樣室Load lock）
工藝室	可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、熱蒸發(fā)腔室、預清洗室、濺射室、退火室、低溫室、蒸發(fā)室、氧化室等
傳輸室	可選四邊形、六邊形或八邊形腔室，可實現多個傳輸室互聯(lián)，配置雙臂或單臂機械臂，配置校準和測量裝置
進樣室	8或12吋晶圓，可選EFEM等前端模塊
	詳細配置可咨詢業(yè)務

產品咨詢

量產級多功能薄膜沉積設備

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