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小圓柱式微波等離子體沉積（CVD）系統

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杭州晶馳機電科技有限公司

浙江

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品牌：

杭州晶馳

型號：

小圓柱式微波等離子體沉積（CVD）系統

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843

產品介紹

該設備為微波等離子化學氣相沉積系統（MWCVD）。采用2.45GHz頻率微波源，電場激發諧振腔模式為TM013模式，激發穩定的等離子體。該系統可以穩定生長金剛石單晶材料、多晶晶圓。通過工藝調節,可以穩定生長出 2 英寸金剛石晶圓。

主要應用領域：半導體襯底、熱沉片、珠寶、刀具、機械密封、新一代移動通信、智能電網、消費類電子等。

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小圓柱式微波等離子體沉積（CVD）系統

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