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拋物面環形天線微波等離子體沉積系統

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杭州晶馳機電科技有限公司

浙江

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品牌:

杭州晶馳

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拋物面環形天線微波等離子體沉積系統

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849

產品介紹

該設備為微波等離子化學氣相沉積系統(MWCVD)。采用2.45GHz頻率微波源,激發穩定的等離子體。電場激發模式為TM021模式,該系統可以穩定生長金剛石單晶材料、多晶晶圓。

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