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一體式垂直氣流碳化硅外延設備

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芯三代半導體科技（蘇州）股份有限公司

江蘇

產品規格型號

參考報價：

面議

品牌：

芯三代

型號：

一體式垂直氣流碳化硅外延設備

關注度：

357

產品介紹

技術優勢

設備擁有完全獨立的自主知識產權，具有差異化的進氣方式、垂直氣流和溫場控制技術，輔以全自動上下料（EFEM）系統和高溫傳盤等手段，實現了全球優異的低缺陷等綜合技術指標和性能，在高產能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數連續自動生長控制、低缺陷率、維護便利性、可靠性等方面都具有明顯的優勢。

工藝性能

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一體式垂直氣流碳化硅外延設備

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