粉體行業在線展覽
晶圓的激光開槽設備
面議
安徽柏逸
晶圓的激光開槽設備
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設備簡介
此設備主要應用激光在晶圓表面刻線開槽作業。
設備特點
1.采用短脈沖納秒紫外激光,更好減小熔敷、熱影響及低毛刺,大大提升提切割品質;
2.獨有控光軟件技術,可變切割槽寬度,并可以對應200um內厚度晶圓產品進行全切功能,應用更靈活方便;
3.配備配備雙CCD視覺系統,搭配380度旋轉馬達,高速的圖像識別能力、自動影像識別、邊緣識別、切痕檢查、自動校正切割道位置視覺識別處理;
4.激光功率實時監測反饋,保證更穩定激光功率輸出;
5.移動重復精度(≦±1um);
6.雙涂布及清結系統,提高設備加工處理效率。
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