粉體行業(yè)在線展覽
電子回旋共振等離子體(ECR)系統(tǒng)
面議
華宇東升
電子回旋共振等離子體(ECR)系統(tǒng)
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性能特點:
?具有無熱陰極、電離度高的特點 ?具有可忽略放電室壁的散射的特性 ?能在低真空度下工作 ?設(shè)備性能穩(wěn)定,使用壽命長 |
主要技術(shù)參數(shù):
微波源輸出功率 | 260W - 1500W |
極限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
氣體質(zhì)量流量控制 | 多路 |
工作氣壓 | 1Pa - 200Pa |
磁場強度 | 0 - 1000高斯可調(diào) |
偏壓 | 0V - 300V |
MPCVD設(shè)備培育的CVD晶種
高穩(wěn)定程控微波源
微波傳輸系統(tǒng)
微波等離子體火炬(MPT)
微波等離子體源
電子回旋共振等離子體(ECR)系統(tǒng)
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— C型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— B型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型
TEM 熱、電、氣、液、冷凍樣品桿
X-300 X-FLUXER? 三位全自動熔片儀
合金分析儀
TZ-517D
SHM1000
其他
NAI-ZLY-4/6C
CX-100
EMC-1
HMYX-2000
EXAKT 80E
NJ-80型