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微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— B型

微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— B型

直接聯(lián)系

成都華宇東升微波設(shè)備有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

華宇東升

型號：

微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— B型

關(guān)注度：

676

產(chǎn)品介紹

性能特點(diǎn)：

?采用特殊材質(zhì)反應(yīng)腔，能耐高溫

?高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長

?使用高精度氣體流量計(jì)，高穩(wěn)定性

?采用純凈的石英窗


主要技術(shù)參數(shù)：

微波功率0.6kW － 6kW 連續(xù)可調(diào)  2.45 GHz
反應(yīng)腔圓柱形反應(yīng)腔
真空漏率≤5×10-10Pa·m3/s
氣體質(zhì)量流量控制標(biāo)配5路，可定制
工作氣壓1kPa - 30kPa
基板臺類型水冷式基板臺
標(biāo)準(zhǔn)襯底托**支持60mm直徑圓臺面積穩(wěn)定沉積
樣品臺多層升降
操作系統(tǒng)PLC控制系統(tǒng)
樣品臺升降功能有，可選
樣平臺旋轉(zhuǎn)功能有
旋轉(zhuǎn)模式連續(xù)旋轉(zhuǎn)、間歇旋轉(zhuǎn)
旋轉(zhuǎn)角度360°
旋轉(zhuǎn)速度0-20轉(zhuǎn)/分，可調(diào)節(jié)


產(chǎn)品咨詢

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