材料類型

220nm - 2500nm

中等純度石英（天然或合成）

高純度石英（可能為合成或熔融石英）

高硼硅玻璃（含硼氧化物）

主要成分

SiO?（>99.99%）

SiO?（>99.9%）

SiO?（>99.9%）

SiO?（約81%）、B?O?（約13%）

羥基含量

高（約1000 ppm）

低（約200 ppm）

低（通常<10 ppm）

低（<10 ppm）

熱膨脹系數(shù)

0.55 × 10?? /K（極低膨脹）

0.55 × 10?? /K（極低膨脹）

熱膨脹系數(shù)低

3.25 × 10?? /K（低膨脹）

耐熱性

極高（軟化點(diǎn)約1700°C）

極高（軟化點(diǎn)約1700°C）

極高，耐高溫

較高（軟化點(diǎn)約820°C）

透光范圍

185 nm - 2500 nm

220 nm - 2500 nm

185nm - 2500nm

300 nm - 2500 nm

紫外透光性

優(yōu)異（185 nm起透光率高）

較差（220 nm以下透光率低）

優(yōu)異（耐酸堿腐蝕）

較差（300 nm以下透光率低）

紅外透光性

較差（2.7 μm處受羥基吸收影響）

較好（2.7 μm處透光率較高）

優(yōu)異（2.7 μm處透光率較高）

良好（2.7 μm處透光率較高）

化學(xué)穩(wěn)定性

優(yōu)異（耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿）

優(yōu)異（耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿）

優(yōu)異（耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿）

良好（耐酸堿，但弱于石英）

機(jī)械強(qiáng)度

高

高

高

高

主要應(yīng)用

紫外光學(xué)、激光器、半導(dǎo)體

可見光/紅外光學(xué)、激光器窗口

三維封裝、MEMS、光電子器件

光學(xué)窗口、實(shí)驗(yàn)室器皿、顯示屏

材質(zhì)

石英玻璃JGS1

直徑

50.8mm

100mm

150mm

200mm

80*80 mm

152*152 mm

厚度

500μm

500μm

1000μm

1000μm

1000μm

2000μm

定位邊

16mm

32.5mm

47.5mm

Notch

N/A

N/A

表面光潔度

S/D  20/10  60/40  80/50