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藍寶石基氮化鎵外延

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江陰晶沐光電新材料有限公司

江蘇

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參考報價:

面議

品牌:

晶沐光電

型號:

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關注度:

272

產品介紹

產品規格書


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藍寶石基氮化鎵外延襯底Tempalte(2~8inch)

襯底直徑

50.8mm

100mm

150mm

200mm

藍寶石襯底厚度

430μm

650μm

1000μm

1600μm

藍寶石襯底表面

FSS/PSS/NPSS

FSS/PSS/NPSS

FSS/PSS/NPSS

FSS/PSS/NPSS

藍寶石襯底晶向

C-Plane



外延導電類型

N-type

P-type

UID


外延摻雜元素

Si-doping

Mg-doping

Undoped


外延層厚度

厚膜:3~5 μm  ;薄膜:0.1~1 μm


外延層厚度均勻性

≤5%


外延層表面狀態

RMS<2nm


外延結構圖


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藍寶石基氮化鎵外延

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