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高溫退火爐

高溫退火爐

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賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

賽瑞達(dá)

型號(hào):

高溫退火爐

關(guān)注度:

437

產(chǎn)品介紹

主要適用于SiC/GaN等各類器件的高溫退火活化工藝。

設(shè)備特點(diǎn)

◎ 型號(hào):Activate 150

◎ 工藝溫度:1800℃~2050℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:1*10-3mbar

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎全自動(dòng)化系統(tǒng)和MES服務(wù)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

◎ 高溫退火活化工藝時(shí)間約4小時(shí)

◎ 工藝室具備DCE自清洗功能

◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性


產(chǎn)品咨詢

高溫退火爐

高溫退火爐

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高溫退火爐 - 437
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