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固潤(rùn)光電PS4L半自動(dòng)探針臺(tái)

直接聯(lián)系

廣州市固潤(rùn)光電科技有限公司

美國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
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883

產(chǎn)品介紹

PS4L 半自動(dòng)探針臺(tái)

SemiProbe是美國(guó)一家**的專業(yè)探針臺(tái)研發(fā)與制造公司,擁有多項(xiàng)**技術(shù),提供完整的所有探針測(cè)試的產(chǎn)品與解決方案。其產(chǎn)品包括全自動(dòng),半自動(dòng),手動(dòng)探針臺(tái),MEMS測(cè)試探針臺(tái),雙面測(cè)試,超低溫,高真空探針臺(tái)等等。SemiProbe 設(shè)計(jì)制造創(chuàng)新性模組化探測(cè)檢測(cè)系統(tǒng),客戶遍及世界各地,其中包括大專院校、政府科研實(shí)驗(yàn)室、各類半導(dǎo)體制造公司、涉及微機(jī)械、納米技術(shù)、光電技術(shù)、光伏技術(shù)等領(lǐng)域,為科研以及制造提供經(jīng)濟(jì)高效、實(shí)用、擴(kuò)展性強(qiáng)的探測(cè)系統(tǒng)。同時(shí)SemiProbe還為用戶提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持,可針對(duì)用戶的具體應(yīng)用需求,定制相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品和技術(shù)方案。

我們有可以解決您所面臨問題的一套**的方案,PS4L 全自動(dòng)探針臺(tái)是基于SemiProbe可適應(yīng)性機(jī)構(gòu)**研發(fā)的一套系統(tǒng),與傳統(tǒng)檢測(cè)系統(tǒng)不同,PS4L 全自動(dòng)探針臺(tái)所有的基礎(chǔ)組件:基座、平臺(tái)、夾具、顯微鏡裝置、顯微鏡移動(dòng)、光學(xué)部件、操縱裝置等,都是可以更換的。這些特征使得PS4L 全自動(dòng)探針臺(tái)可適應(yīng)不同應(yīng)用需求,并且成為節(jié)省經(jīng)費(fèi)的**選擇。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)能夠準(zhǔn)確滿足客戶的要求,更重要的是,PS4L系統(tǒng)能夠進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)升級(jí),以適應(yīng)環(huán)境測(cè)試條件的改變。PS4L系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理念,與傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備相比,能夠讓客戶節(jié)約更多時(shí)間,更多成本。

憑借60年的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),美國(guó)品牌SemiProbe可以迅速為您提供各種定制化方案,以解決不同的難題。我們的宗旨就是讓客戶使用*少的資金獲得**的技術(shù)、更及時(shí)的響應(yīng)市場(chǎng)需求。

SemiProbe產(chǎn)品的獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)有:

1.SemiProbe****技術(shù)的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以使探針臺(tái)在一個(gè)基本平臺(tái)的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級(jí),且升級(jí)可在客戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行,機(jī)臺(tái)不需返廠。其中PS4L系列產(chǎn)品,可以在PS4L基礎(chǔ)平臺(tái)上,由手動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為半自動(dòng)探針臺(tái),半自動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為全自動(dòng)探針臺(tái),或者由6''升級(jí)為8'',8''升級(jí)為12'',增加密閉測(cè)試倉(cāng),增加高低溫等等。這些獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),目前在業(yè)界獨(dú)此一家。

2.SemiProbe的產(chǎn)品,全部都在美國(guó)本土設(shè)計(jì)制造。

3.SemiProbe的另外一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是直流探針座和RF探針座通用,用戶只要一種探針座,換上直流或RF探針,即可做不同的測(cè)試,既方便又節(jié)省成本。目前業(yè)界其他公司的產(chǎn)品,多數(shù)直流探針座和RF探針座是不一樣的,并且價(jià)格昂貴,無法通用。其超高精度的亞微米級(jí)探針座,保證了高端精密測(cè)試的需求。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

1.可滿足**18英寸的晶圓基底的測(cè)試要求,并能兼容處理12/8/6/4英寸硅片及碎片。

2.主要應(yīng)用領(lǐng)域:器件性能、MEMS、光電子學(xué)、納米研究、光伏電池、失效分析及材料等相關(guān)領(lǐng)域。

3.可做直流和微波測(cè)試。

4.系統(tǒng)可在客戶現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)。

5.可增加高低溫及屏蔽系統(tǒng)

6.手動(dòng)探針測(cè)試方式,扎針對(duì)準(zhǔn)方式靈活。

7.可方便搭載loadpull, 激光測(cè)振及電學(xué)信號(hào)測(cè)試等不同的外圍設(shè)備。

8.可搭載各種規(guī)格探卡。

9.主要部件可依據(jù)實(shí)際要求定制。

PS4L 半自動(dòng)探針臺(tái)

SemiProbe的PS4L 半自動(dòng)探針臺(tái)是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)*明顯和*靈活的半自動(dòng)探針臺(tái)。它采用了SemiProbe****技術(shù)Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),提供了****的靈活性和大大地為客戶節(jié)省了資金費(fèi)用。PS4L 半自動(dòng)探針系統(tǒng)可滿足客戶對(duì)精準(zhǔn)的規(guī)格參數(shù)的要求。

產(chǎn)品特征和優(yōu)勢(shì):

1.150mm半自動(dòng)系統(tǒng)可升級(jí)到200mm

2.可選尺寸:100 mm (SA-4) 150 mm (SA-6) 200 mm (SA-8) 300 mm (SA-12)

3.所有關(guān)鍵部件都是可以更換的,這樣確保了系統(tǒng)可再配置符合現(xiàn)在和以后的各種應(yīng)用和預(yù)算要求。

4.軟件和硬件模塊提供了**性的現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)

主要應(yīng)用:

設(shè)備特性,MEMS,光電,光伏,HF /微波,失效分析,研究,材料科學(xué)等領(lǐng)域

技術(shù)參數(shù)

尺寸:750 mm X 650 mm X 750 mm (29.5” x 25.4” x 29.5”) (W,H,L) – with optics
重量:95 Kg (210 lbs.)
夾盤平臺(tái)X-Y移動(dòng):

Travel: 155 mm x 155 mm

Speed: 50 mm/sec (max)

Resolution: 0.5 μm

Repeatability: +/- 1.0 μm

A ccur acy: +/- 2 μm

Planarity: +/- 10 μm over travel r ang e

Nema 17 stepper motor

Optical linear encoder

夾盤平臺(tái)Z移動(dòng):Z Travel: 10 mm

Resolution: 1.0 μm

Repeatability: +/-2.5 μm

Theta移動(dòng):T r a v el: +/-10 degrees (User specified)

Resolution: 0.29 arc-secs, (0.0018 deg r ees)

夾盤:V acuum or mechanical clamping, round or square, ambient, thermal and cus t om

Handle die, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to 200 mm

Nickel plated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materials available

Planarity: 8 μm

壓盤:Aluminum with stainless steel top

360 degree manipulator placement

Manipulator fixation – magnetic, vacuum

壓盤移動(dòng):

Platen Lif t : Choice of fixed or adjus t able

A djus t able: Coarse – 25 mm, Fine – 6 mm

顯微鏡安裝/移動(dòng):Mounting – Boom, Post or Bridge

Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm

光學(xué):Stereo Zoom, Zoom T ube, A-Zoom or Compound Microscope
其它工具:Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A

V acuum: 23 Hg or -0.8 bar

備注:規(guī)格參數(shù)的數(shù)值取決于探針系統(tǒng)的配置和配件要求

產(chǎn)品咨詢

固潤(rùn)光電PS4L半自動(dòng)探針臺(tái)

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