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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700

熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700

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北京泰科諾科技有限公司

北京

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

北京泰科諾

型號:

熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700

關注度:

785

產品介紹

設備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備

設備型號:HF700

真空腔室結構:立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ700mmxH700mm

真空系統:高真空泵組系統

基片臺尺寸:350mm2×350mm2 方形基片臺(旋轉、升降可選)

襯底溫度:600 ~ 1100℃

產品咨詢

熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700

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