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微波等離子模塊

微波等離子模塊

直接聯(lián)系

成都奮羽電子科技有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

奮羽電子

型號(hào)：

微波等離子模塊

關(guān)注度：

752

產(chǎn)品介紹

BPS 1.25 技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	固態(tài)源版本	磁控管版本
長(zhǎng)寬高 (輻射模塊)	490mm390mm128mm	490mm390mm128mm
腔體體積	106L	106L
輸出功率	1.0kW	1.25kW
輸出頻率	2450MHz±25MHz	2450MHz±25MHz
頻率誤差	±50ppm	±50ppm
微波泄露	≤2mW/cm2	≤2mW/cm2
供電電壓	AC380V±10%	AC380V±10%
供電頻率	50Hz±2Hz	50Hz±2Hz
進(jìn)/出水口	1/8寶塔接頭	DN15
冷卻方式	電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）輻射模塊: 可選水冷/風(fēng)冷	電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）輻射模塊: 可選水冷/風(fēng)冷
控制接口	RS485通信協(xié)議	具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能，MODBUS RTU 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，9600,N,8,1
工藝氣體	Ar、O2、H2、CF4等	Ar、O2、H2、CF4等

BPS 3.0技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	固態(tài)源版本	磁控管版本
長(zhǎng)寬高 (輻射模塊)	490mm390mm128mm	490mm390mm128mm
腔體體積	106L	106L
輸出功率	3kW	3kW
輸出頻率	2450MHz±25MHz	2450MHz±25MHz
頻率誤差	±50ppm	±50ppm
微波泄露	≤2mW/cm2	≤2mW/cm2
供電電壓	AC380V±10%	AC380V±10%
供電頻率	50Hz±2Hz	50Hz±2Hz
進(jìn)/出水口	1/8寶塔接頭	DN15
冷卻方式	電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）輻射模塊: 水冷	電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）輻射模塊: 水冷
控制接口	RS485通信協(xié)議	具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能，MODBUS RTU 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，9600,N,8,1
工藝氣體	Ar、O2、H2、CF4等	Ar、O2、H2、CF4等

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微波等離子模塊

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微波等離子模塊 - 752

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