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臥式LPCVD

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

賽瑞達

型號：

臥式LPCVD

關注度：

510

產品介紹

設備主要特點

◎ 采用先進的閉環控制系統，壓力穩定無波動

◎ 高精度溫控系統

◎ 工藝薄膜均勻性優異

★支持SECS/GEM通訊

主要技術指標

◎ 適用硅片尺寸:4~6"

◎ 工作溫度范圍:350℃~800℃

◎ 恒溫長度:300-1100mm(可定制)



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