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半自動上蠟機(jī)

半自動上蠟機(jī)

直接聯(lián)系

深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

夢啟半導(dǎo)體

型號:

半自動上蠟機(jī)

關(guān)注度:

329

產(chǎn)品介紹

設(shè)備優(yōu)勢

◎ 采用固態(tài)蠟熔蠟方式,精確、定量滴蠟。


◎ 加熱冷卻盤內(nèi)部采用精密加熱和自動冷卻系統(tǒng),可精確控制盤面溫度。


◎ 采用獨(dú)立氣缸壓片方式,精密氣壓控制,可精準(zhǔn)控制蠟厚。


◎ 貼片后的TTV≤5um。

性能參數(shù)

參數(shù)名稱單位DL-SL305ADL-SL360A
晶圓尺寸in?4'' (?2''/?4'')

?6'' (?4''/?6'')

陶瓷盤尺寸mm?305x15?360x15
噴蠟量
g0.1~0.350.1~0.35
加熱盤溫控范圍60~180

60~180

上蠟厚度TTV
um≤5≤5
噴蠟重復(fù)定位精度mm±0.05±0.05
噴蠟精度g±0.02±0.02
加壓氣缸Kg500~1000500~1000
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1350x1350x17001550x1550x1900
設(shè)備重量Kg約800約1000


產(chǎn)品咨詢

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半自動上蠟機(jī) - 329
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