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AR9000RR 全自動環切機

AR9000RR 全自動環切機

直接聯系

江蘇京創先進電子科技有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

京創先進

型號:

AR9000RR 全自動環切機

關注度:

336

產品介紹

AR9000RR 全自動環切機

主要特點:

▏多軸聯動環切技術,保證環切精度。
定制化工作臺設計,保證TAIKO工藝下晶圓特殊結構穩定加工。
四工位,多片協調加工,加工效率高。
全自動上下料、傳輸定位、清洗 、解膠、取環,實現全自動運行模式,大大降低OP工作量。
穩定的TAIKO外環解膠和取環。
兼容性好,與市面上的其他類型設備,關鍵耗材兼容性高。
便捷的操作和人機交互界面。


先進功能:

? 掉環檢測功能;
?工作臺自動清洗功能;
?智能UV解膠系統;
? 操作日志記錄功能;
?二流體清洗功能;
?真空預警與真空管路去水功能;
?搬運撞擊檢測功能;
? 條形二維碼識別功能;
? *工廠自動化模塊;
? *軟件定制。

詳情

應用:

主要用于TAIKO工藝下的半導體晶圓的全自動外環去除,適用于特定半導體等材料。

技術指標:

**工作物尺寸

mm

?12" 

主軸

配置方式


單軸

轉速

Rpm

3,000-60,000

輸出功率

kW

1.8(2.4可選) at 30,000min-1

**刀片徑

mm

?58

X軸

可切割范圍

mm

310

Y軸

可切割范圍

mm

310

單步步進量

mm

0.0001

定位精度

mm

0.003以內/310  0.002以內/5(單一誤差)

Z軸

移動量分辨率

mm

0.00005

重復精度

mm

0.001

θ 軸

**旋轉角度

deg

380

主軸形式


單主軸,安裝硬刀盤做環形切割

環切精度

μm

±50

晶圓定位精度

μm

±50

單片效率

min/片

8

多片效率


*多4片同時加工

設備重量

Kg

≈3,200

設備尺寸/ W*D*H

mm

2,730*1,550*2,070

使用條件

? 請使用大氣壓露點在-15 ℃以下殘余油分為0.1 ppm,過濾度在0.01 μm/99.5 %以上的清潔壓縮空氣。
? 請將放置機械設備的房間室溫設定在20 ℃?25 ℃之間,并將波動范圍控制在±1 ℃以內。
? 請將切削水的水溫控制為室溫+2 ℃(變化波動范圍在±1 ℃以內),將冷卻水的水溫控制為與室溫相同(變化波動范圍在±1 ℃以內)。


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AR9000RR 全自動環切機

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