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SiC晶錠激光切片設(shè)備

SiC晶錠激光切片設(shè)備

直接聯(lián)系

廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

大族半導(dǎo)體

型號:

SiC晶錠激光切片設(shè)備

關(guān)注度:

340

產(chǎn)品介紹

主要特點(diǎn):

設(shè)備特點(diǎn):

1、高動(dòng)態(tài)高功率飛秒激光器

2、高精度光學(xué)掃描加工系統(tǒng)

3、高柔性高效率剝離系統(tǒng)

4、加工面平整,材料耗損低,出片率高

5、加工效率快,良率高

6、大尺寸加工,8inch

7、超薄晶圓加工,加工材料兼容性好


主要參數(shù):


主要參數(shù)晶錠/晶圓材料SiC材料
**切割尺寸8inch向下兼容
**切割厚度5mm
切割速度400mm-1000mm/s
定位精度重復(fù)定位精度:±1um 定位精度:±1um
傳輸系統(tǒng)Load, robot,aligner
長×寬×高2620mmX6400mmX2250mm


產(chǎn)品咨詢

SiC晶錠激光切片設(shè)備

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