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SiC高溫退火設備
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氮化鎵（GaN）MOCVD系統
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四方儀器紅外氣體傳感器 Gasboard-2061
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濺射設備 SRH-420
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W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統
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鉑世光（上海）技術有限公司
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封裝用單晶硅芯片設備
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裂縫耦合微波等離子體沉積系統
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垂直離子濺射鍍膜機1
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晶圓半導體表面缺陷檢測設備--魔鏡系統
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YX-Z自動尋峰X射線晶體定向儀
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CEL-RCCO多晶硅標準太陽能電池

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石墨烯卷對卷設備
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