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PMMA電子束光刻膠

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香港電子器材有限公司

美國

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面議

關(guān)注度:

1257

產(chǎn)品介紹

PMMA(polymethyl methacrylate)是一種非常適合許多成像和非成像微電子應(yīng)用程序的聚合物材料。通常用于電子束工藝曝光,如T-gate制造。還用于臨時晶片接合工藝如晶片減薄,用作保護(hù)層和臨時粘合劑。

PMMA光刻膠是PMMA聚合物被溶解在特定的分子量溶劑中,如苯甲醚(安全的溶劑),然后過濾。傳統(tǒng)曝光,直接寫曝光或X-射線曝光使聚合物的斷鏈,從而在光刻膠的曝光和未曝光區(qū)域之間產(chǎn)生溶解度差異,實現(xiàn)非常高分辨率的圖像。

PMMA的分類

1)PMMA 495 A系列

2)PMMA 495 C系列

3)PMMA 950 A系列

4)PMMA 950 C系列

PMMA特性:

1)溶劑:苯甲醚(A)和氯苯(C)

2)非常適合于電子束光刻和X射線曝光

3)高分辨率:<0.1um,PMMA 950適用于高分辨率的應(yīng)用,PMMA 495則相對較低

4)廣范圍分子量和粘度

應(yīng)用:電子束光刻、多層T-Gate剝離、晶圓減薄等。

相關(guān)溶液:

1)顯影液:MIBK:IPA

2)去膠劑:Remover PG

3)稀釋劑:A Thinner

一般儲存溫度:

10-27℃

產(chǎn)品咨詢

PMMA電子束光刻膠

香港電子器材有限公司

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PMMA電子束光刻膠 - 1257
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