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RSP-6000 平板式PVD

RSP-6000 平板式PVD

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中國電子科技集團公司第四十八研究所

湖南

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

電子科技

型號：

RSP-6000 平板式PVD

關注度：

510

產品介紹

設備主要用于高效晶硅體太陽能電池制造工藝中HJT電池片正面和背面IOT薄膜的沉積。

  • 膜塊化設計，便于安裝以及產能升級;

    滿足不同溫度沉積ITO薄膜，工藝擴展性強;強控旋轉陰極靶快速鍍膜技術，靶材利用率高;

    分區加熱和控溫，具有出色的控溫系統和控溫性能。


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RSP-6000 平板式PVD

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