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>Semilab SDI體內(nèi)少數(shù)載流子擴(kuò)散長(zhǎng)及CV電性檢測(cè)設(shè)備

Semilab SDI體內(nèi)少數(shù)載流子擴(kuò)散長(zhǎng)及CV電性檢測(cè)設(shè)備

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參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

906

產(chǎn)品介紹

儀器簡(jiǎn)介:

應(yīng)用:

◆硅料

◆太陽能

◆集成電路制造等

技術(shù)參數(shù):

Semilab SDI設(shè)備主要用于硅片體內(nèi)的少數(shù)載流子壽命(擴(kuò)散長(zhǎng))的監(jiān)測(cè)及定量定性檢測(cè)影響少數(shù)載流子的壽命(擴(kuò)散長(zhǎng))的金屬污染(鐵、銅等)含量。設(shè)備由光路系統(tǒng)、信號(hào)分析及處理系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)及自校準(zhǔn)系統(tǒng)(設(shè)備內(nèi)建有標(biāo)準(zhǔn)片)組成。

主要特點(diǎn):

◆SPV(表面光電壓)- 硅片表面不需要做鈍化處理即可以做少數(shù)載流子壽命測(cè)試;

◆Surface Lifetime- 硅片淺層的少數(shù)載流子壽命檢測(cè);

◆Surface Recombination – 硅片的表面復(fù)合測(cè)試;

◆SPV(表面光電壓)- 可測(cè)試硅片體內(nèi)的Fe及B02的含量;

◆設(shè)備的Multiple wafersize 功能可以兼容測(cè)試100mm-300mm的硅片及硅棒。

產(chǎn)品咨詢

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