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SiC高溫氧化設備

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山東力冠微電子裝備有限公司

山東

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面議

品牌：

山東力冠

型號：

SiC高溫氧化設備

關注度：

745

產品介紹

概要：

? 專門用于硅碳化合物(SiC) 的氧化處理，可實現SiC片在高溫真空環境下完成高溫氧化工藝。氧化工藝使用濕法氧化氣體或N2O、NO、NO2,是*安全的毒性氣體氧化爐 ? 設備適用于SiC基功率器件制造中的高溫氧化工藝環節 ? 加熱腔與工藝腔獨立密閉設計，提供工藝腔的潔凈度


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