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紅外快速退火爐系統(tǒng)

BTF-1200C-RTP-CVD

直接聯(lián)系

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽合肥

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

型號：

BTF-1200C-RTP-CVD

關(guān)注度：

1776

產(chǎn)品介紹

一、設(shè)備簡介

該款設(shè)備是由單端封口紅外滑軌爐、高真空機組、供氣系統(tǒng)及操作控制界面組成，內(nèi)控熱電偶用于控制RTP爐內(nèi)的溫度，出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內(nèi)的真空獲取，進氣口除用于通入保護氣體或反應(yīng)氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。

二、技術(shù)參數(shù)

加熱系統(tǒng)
額定電壓	AC 220V 50/60Hz
額定功率	20KW
使用溫度	1200℃
額定溫度	1000℃
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍	100~1000℃
加熱區(qū)長度	230mm
恒溫區(qū)長度	120mm
溫度控制重復性	±3℃
溫度控制精確度	±0.1℃
升溫速率	≤50℃/s
控溫方式	內(nèi)控溫
溫度過沖	≤3℃
爐管尺寸	高純石英管Φ90400R45mm
控溫方式	智能化PLC控制，具有超溫和斷偶報警功能
真空機組主要參數(shù)
空氣相對濕度	≤85%
工作電壓	220V±10% 50~60Hz
抽氣速率	165L/min
實驗真空度	5.0x10^-1Pa（空載、冷態(tài)）
容油量	1.1L
進氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標準量程（N₂）	200sccm、500sccm
準確度	±1.5%
線性	±0.5~1.5%
重復精度	±0.2%
響應(yīng)時間	氣特性 1~4Sec，電特性 10Sec
工作壓差范圍	0.1~0.5MPa
壓力	≤3MPa
接口	Φ6，1/4”
顯示	液晶屏顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

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