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美國(guó)SONIX晶圓檢測(cè)機(jī)AutoWafe Pro

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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美國(guó)SONIX 晶圓檢測(cè)設(shè)備 AutoWafe Pro.

SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動(dòng)晶圓檢測(cè)設(shè)計(jì)的機(jī)型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測(cè)，TSV量測(cè)方面。

● 使用于200和300mm晶圓

● 符合一級(jí)凈化間標(biāo)準(zhǔn)

● Cassette裝載，全自動(dòng)檢測(cè)，支持FOUP或FOSB機(jī)械臂

● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議

● KLARF輸出文件

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美國(guó)SONIX晶圓檢測(cè)機(jī)AutoWafe Pro

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