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SU-8光刻膠輪廓修改劑

直接聯(lián)系

香港電子器材有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號

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1141

產(chǎn)品介紹

需要在負(fù)膠的SU-8實(shí)現(xiàn)正膠輪廓？？

新產(chǎn)品光刻膠輪廓修改劑帶來了新的契機(jī)。

輪廓修改劑直接旋涂在Pre-baked的SU-8光刻膠頂部，降低了光刻膠膜頂部的光靈敏度，取得了正型的側(cè)壁。

影響SU-8輪廓效果的原因

1）光刻膠類型及厚度

2）XP TQC膠的厚度

3）曝光量

4）顯影后的去膜量

5）曝光類型（靠近或軟接觸）

正錐形輪廓：

1）在Micro-Molding應(yīng)用中，實(shí)現(xiàn)模具去除步驟

2）需要在結(jié)構(gòu)的頂部和側(cè)壁上的后續(xù)金屬沉積步驟

產(chǎn)品咨詢

SU-8光刻膠輪廓修改劑

香港電子器材有限公司

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