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主動隔振系統(tǒng)(電子顯微鏡、半導體設(shè)備專用)

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直接聯(lián)系

上海良允科學儀器有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

上海良允

型號:

主動隔振系統(tǒng)(電子顯微鏡、半導體設(shè)備專用)

關(guān)注度:

846

產(chǎn)品介紹

αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測地板的振動,通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制,由氣動和線性馬達執(zhí)行器來實現(xiàn)振動衰減,消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細微振動,滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。

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主動隔振系統(tǒng)(電子顯微鏡、半導體設(shè)備專用)

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