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Microchem公司的SU-8 膠是一種負(fù)性、環(huán)氧樹脂型、近紫外線光刻膠，它適于制超厚、高深寬比的MEMS微結(jié)構(gòu)，適合i線，X-Ray，E-beam曝光。具有非常好的熱穩(wěn)定性、抗刻蝕性、高分辨率、高深寬等特點(diǎn)。對(duì)近紫外350~400nm波段曝光*為敏感。即使在非常厚的光刻膠曝光情況下，曝光均勻一致，可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形。

SU-8 2000系列的特性

1）厚度范圍，單層涂膠厚度為 0.5 to > 200 μm

2）高深寬比：>10:1

3）更多揮發(fā)性溶劑，與傳統(tǒng)去邊工藝兼容

4）降低了極性溶劑含量減小表面張力

5）表面活性成分，改善涂覆效果

應(yīng)用：MEMS，鈍化層應(yīng)用LED微流以及光電子器件制作

SU-8 2000系列的屬性

1）旋轉(zhuǎn)涂層薄膜：<1um to>75um

2）耐高溫、耐化學(xué)性

3）光學(xué)透明

4）與i-line成像設(shè)備兼容

SU-8 3000系列的特性

1）膜厚5-120 um

2）高深寬比：>5:1

3）常用于**性結(jié)構(gòu)制作，較SU-8 2000具有更好的基底粘附力，更不易于在工藝過程中產(chǎn)生內(nèi)應(yīng) 力積累

應(yīng)用：光電器件、微流體、MEMS芯片制作以及作為芯片絕緣、保護(hù)層使用

相關(guān)溶液：

稀釋劑：SU-8 Thiner

顯影液：SU-8 Developer

去膠液：Remover PG

增附劑：OmniCoat

一般儲(chǔ)存溫度：

4-21°C