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大氣壓微波低溫等離子寬幅射流系統(tǒng)(LTPJ)
面議
奮羽電子
大氣壓微波低溫等離子寬幅射流系統(tǒng)(LTPJ)
773
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
長(zhǎng)*寬*高 | 射流頭308*195.7*106.4 mm (射流頭形態(tài)可定制);微波源:450*404*172mm |
輸出功率 | 1000W,1W可調(diào)(微波源) |
輸出頻率 | 2450MHz ±5MHz |
頻率誤差 | ±50ppm |
微波泄露 | ≤2mW/cm2 |
供電電壓 | AC220V±10% |
供電頻率 | 50Hz±2Hz |
啟動(dòng)模式 | 標(biāo)準(zhǔn)ON/OFF |
**駐波比 | 2:1 |
工作模式 | 連續(xù)波CW |
功率穩(wěn)定度 | 1% |
整機(jī)效率 | ≥60% |
射流頭和微波源連接方式 | 波同 |
工作溫度 | 環(huán)境溫度** 40℃,冷卻水 18-28℃,**濕度 60% |
冷卻方式 | 水冷 |
控制接口 | RS485控制協(xié)議 |
版本:
版本 | 工藝氣體 | 羽流長(zhǎng)度 | 羽流直徑/寬 |
V1.0 | Ar、O2、壓縮空氣 | 5mm | 0.9mm |
V2.0 | Ar、O2、壓縮空氣 | 5mm | 1mm |
寬幅 | Ar、O2、壓縮空氣 | 5mm | 5cm |
2.45GHZ 300W 固態(tài)微波源+AC-DC 電源
2.45GHZ 1000W 固態(tài)微波源
三銷釘調(diào)配器
定向耦合器
波導(dǎo)同軸轉(zhuǎn)換器
波導(dǎo)負(fù)載
環(huán)形器
滑動(dòng)短路器
波導(dǎo)功率計(jì)
波導(dǎo)連接器件
小型桌面式微波等離子體清洗設(shè)備
250W射流等離子
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
自動(dòng)劃片機(jī)
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
Pentagon Qlll
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037