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臥式LPCVD

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中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

湖南

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

電子科技

型號(hào)：

臥式LPCVD

關(guān)注度：

533

產(chǎn)品介紹

應(yīng)用于寬禁帶半導(dǎo)體器件、電力電子器件、光電子等行業(yè)氮化硅、多晶硅或氧化硅薄膜的制備；適用工藝有LPCVD。

溫度控制采用串級(jí)控制方式，對(duì)基片實(shí)際溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)智能控制；
裝載采用SiC懸臂槳，避免了與工藝管摩擦產(chǎn)生粉塵。

產(chǎn)品咨詢

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