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離子束濺射沉積系統(tǒng)

定制-離子束濺射沉積系統(tǒng)

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廈門毅睿科技有限公司

中國(guó)

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面議

品牌:

毅睿/芯壹方

型號(hào):

定制-離子束濺射沉積系統(tǒng)

關(guān)注度:

343

產(chǎn)品介紹

離子束濺射沉積系統(tǒng)


離子束濺射沉積系統(tǒng)第8頁(yè)-31.PNG


Description:

●低壓濺鍍沉積(10-4Torr)

高質(zhì)量、平滑、無(wú)針孔無(wú)針孔薄膜

可實(shí)現(xiàn)<+/-3%的均勻沉積

增強(qiáng)的附著力和微觀結(jié)構(gòu)控制

**的覆蓋效果高寬比特征

獨(dú)立控制離子束參數(shù),使用戶能夠設(shè)計(jì)薄膜以獲得所需的特性

低能量離子輔助端霍爾離子源



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離子束濺射沉積系統(tǒng)

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