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超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統

定制-超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統

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廈門毅睿科技有限公司

中國

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品牌：

毅睿/芯壹方

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定制-超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統

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超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統

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Description :

●UHV 多腔體:Ion Sources, Thermal/E-Beam Evaporator,Sputter .E-Beam... etc.,

●基板:多片/單片Max 8 Inch,5x5 cm,10x10cm或其他尺寸

●單片，多片承載裝置Cassettes,可程式自動選擇及傳輸

●真空度:UHV 10-9 Torr

●自動傳輸，自動制程設定...etc.,

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超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統

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