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全自動晶圓2D/3D AOI光學檢驗機

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深圳市易捷測試技術有限公司

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產品介紹

WAFER AOI光學檢驗系統

進料的wafer,經過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查,進行檢查和分選。操作員不接觸wafer,避免了污染和損傷wafer。

性能描述:

  • 標準配備1個Load port,單臂翻轉Robot,Pre-aligner,目檢臺和顯微鏡。

  • 兼容8寸和12寸wafer

  • 標準load port可以對應FOUP,AutoFOSB自動開蓋,具備mapping功能

  • 高精度運動機構,低噪音,低塵,無需供油。

  • 觸摸屏操作,界面友好。

  • 對應GEM300,采用SEMI標準軟件

晶圓光學檢測機:

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