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碳化硅長晶設備

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江蘇卓遠

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卓遠半導體的物理氣相傳輸(PVT）系統是專為碳化硅晶體生長而設計。基本系統設計是基于線圏感應加熱概念，可以生長直徑 6/8英寸的晶錠。

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