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SAB9510-半自動 超原子束TRIM機

SAB9510-半自動 超原子束TRIM機

直接聯系

青禾晶元半導體科技（集團）有限責任公司

天津

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

青禾晶元

型號：

SAB9510-半自動 超原子束TRIM機

關注度：

136

產品介紹

SAB9510是一款全自動的超原子束表面TRIM機，可通過Cassette自動上下料，適用于半導體薄膜超精密TRIM批量化生產。

  • 項目

    指標

  • 晶圓尺寸

    4-12寸

  • 上料模式

    Cassette自動上下料

  • 晶圓校準

    Aligner

  • 去除效率

    800 ?*cm2/s @Si

  • 支持工藝氣體

    NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體

  • 束流強度

    ＞100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高寬<5mm

  • 離子能量

    60kev


產品咨詢

SAB9510-半自動 超原子束TRIM機

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