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儀器簡介：

應用：

◆ 硅外延層的CV測試；

◆ 半導體器件及化合物半導體（GaAs/SiC）的CV/IV測試。

技術參數：

SSM公司的汞探針CV測試設備是半導體器件、化合物半導體（GaAs/SiC）行業的標準設備，行業占有率超過９０％。其多項**技術保證了測試的高精確性及重復性。

主要特點：

◆ 高精度和準確性的參數測試(Qeff， Qot， Fbd， Vbd， K...)；

◆ 在半導體和化合物半導體（GaAs/SiC）行業超過９０％的市場占有率；

◆ 高重復性（<1%）；

◆ 非破壞性；

◆ 雙重的filer保護系統確保Hg的使用安全。